集成微透鏡陣列的CMOS 感測器分析

集成微透鏡陣列的CMOS 感測器分析
 

1. 摘要

 

在最近的幾十年裡，COMS 感測器的圖元尺寸由最初大於10um 以發展至2um，甚至更小。通過減小圖元尺寸以獲得更高的空間解析度。
與此同時，這也為覆蓋在每個圖元上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了圖元大小等於或小於 2um CMOS 感測器的性能。
並在模擬分析中採用嚴格的 FMM / RCWA 以檢測微透鏡的有效性。


2. 建模任務

採用的幾何參數來自 Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

採用的幾何參數來自 Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

3. 2 um 圖元的微透鏡陣列(X-Z 截面模擬)





4. 1.8 um 圖元的微透鏡陣列(X-Z 截面模擬)



5. 1.6 um 圖元的微透鏡陣列(X-Z 截面模擬)




6. 3D 模擬與結果對比






7. 走進VirtualLab Fusion

• 構造光柵結構

• 計算光柵結構內部的場分佈

9. VirtualLab Fusion 技術