方形晶胞 - 訊技科技股份有限公司

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方形晶胞

時間:2022-03-17 12:04來源:未知作者: infotek點擊:次列印

這是一個簡單的二維光柵的案例，它有兩個週期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是週期性的。它包含一個位於襯底上的菱形(平行六面體)，並被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形結構)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分佈。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度

S偏振光照明的場向量

P偏振光照明的場向量

後處理傅立葉變換計算透射繞射級次的振幅。

參數掃描

Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產生了以下圖表，顯示了反射和透射繞射級次的強度:

在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產生以下依賴關係

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