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干涉測量的非序列模擬
時間:2022-07-29 17:38來源:未知作者: infotek點擊:列印
       Mirau 干涉測量法是一種眾所周知的技術,它可以以高達所用波長的百分之一的精度測量表面。為了充分研究和設計這樣的系統,非順序模擬方法很有説明,因為它會自動將系統內部反射產生的干涉效應考慮在內。

        因此,本周我們不僅展示了這樣一個裝置,還通過研究不同形狀標準具的干涉效應來詳細闡述了測量原理。




Mirau 干涉儀的模擬


 


       在此案例中,我們通過非序列通道概念在 VirtualLab Fusion 中設置 Mirau 干涉儀,模擬了典型的干涉條紋圖案。
 
 


具有平面或曲面的標準具建模
 





      我們設置了具有平面和曲面的光學標準具。利用非序列場追跡技術,研究了干涉條紋的差異。
 
 
 
 



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