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F-Theta掃描鏡頭的性能評估

時間:2022-08-24 10:03來源:未知作者: infotek點擊:次列印

摘要

F-Theta 透鏡通常用於Galvo類掃描器的雷射材料加工系統。對於這樣的鏡頭，聚焦點沿目標平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，沒有完美的 F-Theta 系統，因此在任何給定的系統中都會出現與理想行為的偏差。借助快速物理光學建模和設計軟體 VirtualLab Fusion 中的掃描源，我們通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差來分析給定 F-Theta 透鏡的性能。

任務描述

系統構建模組 - 掃描光源

可以使用掃描光源定義生成一組在不同方向傳播的截斷平面波的多模光源。

使用者可以指定應考慮多少模式並定義強度分佈。更多資訊如下：

如何設置一個掃描光源

系統構建模組 – 鏡頭系統元件

鏡頭系統元件允許輕鬆定義由各種介面組成的元件。可以包括例如：平面、球形和圓柱形介面以及配置它們之間的介質。

VirtualLab Fusion技術系統構建塊——參數耦合

通過參數耦合，可以將系統中不同參數的值聯繫起來。在此案例中，此功能用於自動將探測器圍繞所需焦點居中。更多資訊如下：

VirtualLab Fusion中的參數耦合

系統構建模組——畸變分析器

實際焦點位置與參考焦點位置之間的偏差表明了 F-Theta 鏡頭的性能。可以使用畸變分析器計算此資訊。

雖然實際焦點位置將通過模擬計算，但參考焦點位置可以指定為角度本身的線性或其切線。

總結-組件…

系統印象

性能評估 – 光斑位置偏差

畸變分析器可以快速估計 F-Theta 鏡頭的性能，可以通過將場傳播到焦平面來進行驗證。

性能評估 - 光斑直徑測量

此外，該結果可用於對 F-theta 系統產生的斑點進行更深入的分析。例如，對光斑大小的檢查表明，對於更高的輸入角度，單個焦點變得越來越橢圓。

VirtualLab Fusion技術

檔案資訊

延伸閱讀

-     Performance Analysis of Laser Scanning System
-      How to Set Up a Scanning Source
-      Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion

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