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FilmStar薄膜分析軟體
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FilmStar 光學薄膜分析設計軟體
FilmStar 是一個強大且容易使用的視窗之薄膜設計軟體,它包含了五種模組對於光學薄膜鍍膜的設計、特徵化、量測、監控等有強大的功能,分別為 DESIGN( 設計 )、INDEX(使用者自訂函數)、MEASURE(控制並透過分光光度計獲得資料)、 MONITOR(監控系統)、CRYSTAL(轉換薄膜設計到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作處理)。
 
FilmStar應用領域及範圍
  • 光學系統元件之抗反射膜
  • 抗紫外線膜
  • 亮度衰減膜
  • 高反射膜
  • 雙色濾光片
  • 偏極分光片
  • 偏極延遲片
  • 帶通濾光片
 
FilmStar 主要模組介紹
   
DESIGN ( 設計 )模組
薄膜設計 (Thin Film Design)
  其中包含許多的功能及主要特色:
 
光學 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)層的厚度定義
光學和物理厚度的轉換
群組和層數的轉換
不同質 (inhomogeneous) 層的模擬
包含了 52 種膜的材料
反向設計 (reverse design)
索引 (Film Indices)
  提供 常數、色散 (dispersive)查閱表,內建函數包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等,使用者可增加到20種新的函數到內建的編輯功能中,如FilmStar Workbook、Excel或是其他程式中。
基底補償(Substrate Compensation)
  提供 精確的校正基底表面,對於正向及逆向入射光,基底可被視?大量的 (massive)層,在系統中含有多重吸收基底及空氣間隔,這樣允許被計算及最佳化。
計算量(Calculated Quantities)
 
[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波長 , 角度 , 厚度]
CIE color
橢率測量術(ellipsometry)
Herpin indices
最佳化 (Optimization):提供四種優化方式
 
Damped Least Squares
Levenberg-Marquardt
Simplex
NOL Gradient Methods
   
INDEX(使用者自訂函數)模組
  光學膜不僅只是設計,還必須能被特徵化,對成功的薄膜製造而言,推斷色散指數 (dispersive indices) 的能力就非常重要。
索引目錄(Index Tables)
  提供 N, K 目錄,使用者自訂函數能被定義在內建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程式,如 Excel 或是 Visual Basic 。
附加運算法(Additional algorithms)
 
對於已知厚度的單層薄膜可由 %R及 %T資料計算 N,K
對於輕微吸收的單層薄膜可由 %T 資料計算 N,K
由 %R 及 %T 資料計算 filter glass 基底的 N,K
   
MEASURE (控制並透過分光光度計獲得資料)模組
 

MEASURE 由分光光度計 (Spectrophotometers) 控制及獲得資料,它亦可與 FilmStar 中的 DESIGN 結合。所提供的量測控制,為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的:所提供的量測控制,為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的:

Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900
88x,983,983G(FIR models)
Spectrum2000FTIR
Hewlett HP8453 Diode-Array
Varian Associates Cary1,3,4,5
Hitachi U-3200/3210,U-3400/3410
   
MONITOR(監控系統)模組
  MONITOR使用者能模擬沈積過程(Deposition processes)及決定最理想的方式獲取高?量的生?。
   
CRYSTAL模組
  CRYSTAL 轉換薄膜設計到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作處理,以上概括簡述 FilmStar 的特色及功能,它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、產量分析、 … 等等,實為光學設計者的有利幫手。
 
特色
  FilmStar資料庫(Database)已經完成了對MS Access的聯結
  對測試試用版感興趣的使用者可以透過電子郵件與我們聯繫,我們將告知您可供下載的操作說明以及新的安裝密碼,除了MEASURE的Varian Cary模組之外,所有程式皆可執行這個新的資料庫。
   
可登錄為 FilmStar 的管理員 ( Administrator)
  可 限制其他的電腦在執行 FilmStar時,對 程式功能做存取。例如,鍍膜部門裡用於光學監控的電腦,能設定為不允許使用者編輯或儲存薄膜設計。
   
其他功能
  包括波長的單位、兆赫(terahertz)和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模組(感謝 Stephen Sathiaraj 博士協助新模組的執行和驗證),其他 INDEX 模組將在下個月新增。
   
目前版本仍持續改進部分功能,例如:INDEX的最新版本,讓您可以限制index function相對於所顯示波長範圍的優化(fitting)功能,我們發現在可見光範圍內,可有效消除紫外線(UV)以及紅外線(IR)的資料點而不需要TiO 2 的優化(fit)。
    您知道可以使用標準的Windows檔案對話窗取代FTG式的對話窗嗎?FTG式對話窗的用意在於可允許使用者輸入檔案的描述,但對於長檔名的所有檔案類型,您可以視這些描述為多餘的。Windows檔案對話窗的一個優點為當勾選FILM Archive模式時,可更容易儲存與載入FILM Archive的模組(如 Graph Axes )。
     
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