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Fig.1 Fringes appear in the region where the light reflected from the front and rear surfaces of the shear plate overlap

Fig.2 Orientation of fringes with respect to the collimation reference line

用途

通過判斷能讀干涉條紋的形狀可以求出原始波面的波差分佈；根據條紋相對于水準基線的旋轉角度可以計算出光束准直度。

優點

利用被測波面自身實現干涉，無需參考表面；設置可旋轉角度度盤，可方便讀取條紋傾斜角度，使用方便。

Fig.3 JQG -50MM 型剪切干涉儀

主要性能

特點	剪切平板可轉動，帶最小格值為 1 ° 的度盤
剪切板材料通光口徑最小可檢驗光束直徑剪切量楔角名義值平行光入射時條紋間距	高品質 K9 玻璃，厚度 10mm ， n=1.51466 @ l =632.8nm 50mm 15mm 7.466mm （光束入射角為 45 ° ， l =632.8nm ） 20 〃（實際值在 15 〃 -20 〃之間，每台儀器均標注實測值） 2.2 mm
光束准直度解析度	17.2 m rad （對應於條紋旋轉 1 ° ）
外形尺寸	195x124x150 ( mm)
重量	2.9kg

光束准直度的測量

3.1 剪切板准直度測量儀的組成

1 ）光束入窗：刻有同心圓環的有機玻璃板，用於對準入射光束，檢測時將其取下。
2 ）觀察屏：刻有三條平行水平線與一條豎直線的毛玻璃屏。
3 ）角度刻度盤：由主刻度盤和副刻度盤組成，主刻度盤相鄰刻線間的夾角為 1 ° ，副刻度盤相鄰刻線間的夾角為 0.9 ° ，兩者結合可使角度最小讀數達 0.1 ° 。
JQG Φ 50MM 型剪切干涉儀使用時，被檢光束從光束入窗以 45 ° 入射角射向剪切板，在觀察屏上觀察剪切干涉條紋。如 Fig.4 所示。

Fig.4 剪切板准直度測量儀的組成與使用

3.2 計算公式

觀察屏上被檢波面的曲率半徑 R 由如下剪切方程計算，

R=s/[n b ( tg a )] (1)

光束發散角 q （全形）由下式計算，

q =D/R=n b D (tg a )/s (2)

而剪切量 s 的計算公式如下，

s=2 d tg[sin -1 (sin i /n)] (sin i ) (3)

這裏， n 和 b 分別為剪切板的折射率和楔角， D 為被檢光束在觀察屏處的直徑（其最大值為剪切板通光口徑）， i 為被檢光束在剪切平板上的入射角（這裏 i = 45 ° ）， d 為剪切板厚度， b 為觀察屏上相鄰兩條干涉條紋的間距， a 為干涉條紋傾角（即條紋與觀察屏基準刻線間的夾角）， s 為剪切板的剪切量，參見圖 6 。 b 是已知的，只要測得角 a ，就可按式 (1) 和 (2) 計算光束曲率半徑 R 和發散角 q 。

Fig. 5 Measurable quantities need to determine wavefront radius from the shear equation

3.3 條紋傾角 a 的讀取

1 ）當觀察屏出現干涉條紋時，轉動剪切板使干涉條紋方向與基準刻線平行，記下度盤讀數 a 1 。
2 ）再轉動剪切板約 180 ° ，使干涉條紋方向與基準刻線再次平行，記下度盤讀數 a 2 。
3 ）按下式（ 4 ）計算傾角 a ，即 a = | a 1 - a 2 ± 180 ° |
(4) 如 a 1 >180 ° , 式（ 4 ）變為 a = | a 1 - a 2 -180 ° | ；如 a 1 <180 ° ，式（ 4 ）變為 a = | a 1 - a 2 +180 ° | 。例如， a 1 =5 ° 36 ′， a 2 =178 ° 12 ′，則 a =5 ° 36 ′ -178 ° 12 ′ +180 ° =7 ° 24 ′。

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