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如何在PanDao軟體中輸入形狀精度參數？

時間:2025-04-15 15:45來源:未知作者: infotek點擊:次列印

PanDao軟體當前可以接受ISO10110標準定義的形狀精度參數格式3/A(B)，其中A代表功率公差，B代表不規則性。

測量單位是條紋數，表示的是波前偏差（非表面高度偏差），該方法源自光學大師手工拋光製作測試板（T）進行面形偏差測量的傳統技術（該檢測裝置也見於斐索干涉儀中）。

被測表面(S)的面形誤差（表面高度H）是通過將表面的形狀與測試板(T)的標準形狀（通常精度＜1/20波長）進行對比測量得到的。具體方法是使測試板反射光(T')與待測面反射光(S')發生干涉，此時表面S的高度偏差H在干涉圖中表現為2*H（即波前差）。

PanDao軟體預設以546.07nm波長（汞綠光譜線）讀取形狀精度參數3/A(B)。546.1nm波長的光是由汞蒸氣燈在電激發下產生的綠色發射譜線，在雷射技術問世前廣泛應用於光學檢測、對準及校準。根據ISO10110標準，使用者可通過修改3/@lambda中的相關條目來自由設定其它檢測波長。

例如，當不規則性B對應的高度偏差H為1微米時，B = (1000/546.07)*2 = 3.66條紋；若功率誤差對應高度偏差為2微米，則該表面的形狀精度參數為3/7.32(3.66)。

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