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微透鏡陣列CMOS感測器分析

時間:2023-10-30 17:23來源:未知作者: infotek點擊:次列印

摘要

近幾十年來，CMOS感測器的圖元尺寸已經從~10µm縮小到~2µm，甚至更小。通過減小圖元尺寸，可以獲得更高的空間解析度。同時，這也給每個圖元上微透鏡的功能帶來了問題。在本例中，我們研究了圖元尺寸等於或低於2µm的CMOS感測器的性能。採用嚴格的FMM/RCWA進行模擬，以驗證微透鏡的有效性。

建模任務

模擬&設置：單平臺互通性

連接建模技術：微透鏡

微透鏡陣列可用的建模技術：

連接建模技術：彩色濾光片

週期性微奈米結構的可用建模技術：

連接建模技術：可程式設計介質

連接建模技術：自由空間傳播

自由空間傳播可用的建模技術:

連接建模技術：堆疊

在VirtualLab Fusion中，堆疊是配置具有小特徵尺寸和距離結構的一種便捷的方法。在這些容器中，可以包含多種類型的表面和介質來表示結構的各個方面。請注意，整個堆疊使用了相同的建模技術。

元件內場分析器：FMM

模擬結果

圖元尺寸為2.0µm的微透鏡(x-z平面模擬)

圖元尺寸為1.8µm的微透鏡(x-z平面模擬)

圖元尺寸為1.6µm的微透鏡(x-z平面模擬)

3D模擬與結果比較

3D模擬與結果比較

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