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The vStack Enhancement加強對

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The vStack Enhancement加強對非平行鍍膜層的計算及最
時間:2010-12-23 20:20來源:訊技光電作者: 技術部點擊:列印

在許多的光學系統中主軸的方向被一平面所限制住。VStack是對這一類光學系統特性的計算工具。在vStack中光源是由一條條是光線所組成並透過系統進行進跡的工作,所以可以同時對任何傾斜角度的表面計算反射及穿透。

因為針對多重表面在方向上變化進行針算,所以在vStack中是使用生產率(throughput)的方式取代平常使用的反射及穿透系數。生產率(throughput)是來自光束透過系統所得到。使用者只需要簡單的定義表面的順序,表面的角度及反射與穿透等參數。VStack將會針對此系統所有的入射角度進行計算。vStack裏面也提供了可調整的入射光束角度,而不需要改變vStack。光學系統大部份都會包含一些傾斜的表面,所以就會顯現出極化的特性。因此橢圓儀(ellipsometeric)的項? 及 ?將會被計算。使用? 及 ?是因為它們是獨立於表面間距的絕對值。

此類幾何結構將會造成在儀器表面上同時發生的p及s極化光。當光束方向為與平面有一傾斜角,透過skew angle,這個問題就不會再發生。一些光線,原本為s極化光從系統射出時將會成為p極化光,而一些p極化光將會成為p極化光。我們稱此一效應為極化泄漏(polarization leakage),其第一階正比於 skew angle。因此我們可以得到一新的效能參數極化泄漏參數(polarization leakage coeffiecinet),來描述此一效應。鍍膜設計將會影向極化泄漏參數,同時也有可能影向反射及穿透系數,而且此類參數為再定義(refinable)之參數在vStack的計算是非常簡易的,所需要設定的部份只有一道光束。在許多系統中,包含角度,多層膜,分光器。為了讓此類系統的參數能夠最佳化,必須進行corefinement這項功能。在vStack可利用許多的merit函數來進行自動化再調整的工作。

想象我們再設定一個復雜的vStack,其表面為不同的傾斜表,且其光線為部份反射部份穿透,也許將會是一項吃力的工作。這種設計很容易的各項表面很容易的被錯誤的安排,使得光束無法打到正確的位置,或就此消失。為了確定vStack的特色,使其更容易,所以其中提供了一個圖形工具。這個自動描繪vStack的配置工具,顯示出光線在穿過系統,其方向及在各表面上之效應。使用此一工具將使建構vStack更為容易。


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