訊技科技首頁 最新公告: 繁體中文|English|全站搜索
欄目列表
FRED
virtualLab
Macleod
OptiWave
GLAD
OCAD
Litestar 4D
EastWave
JCMSuite
LASCAD
其他
最新發佈

VirtualLab Fusion應用:飛秒

VLF應用:在高數值孔徑

VirtualLab Fusion應用:熱透

VirtualLab Fsuion應用:非球

VirtualLab Fusion應用:利用

VirtualLab Fusion應用:雷射

VLFusion應用:高數值孔徑

VLF應用:利用Fabry-Pér

微透鏡陣列CMOS感測器分

VirtualLab Fusion應用:不規

0錐形相位掩模的 Talbot 圖像
時間:2025-01-06 14:06來源:未知作者: infotek點擊:列印
摘要
 
 
 
 
 
       在傳統的 Talbot 光刻中,在光敏層中僅使用一個圖像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅立葉模態方法 (FMM,也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進行建模。可以檢測到不同的 Talbot 圖像,在主像平面中會再現柱狀圖案,而在次要像平面中再現孔圖案。


  

建模任務



 
 

 
系統建模組



 
 
 

特定位置的Talbot圖案


 
 
 
 
 
 
特定位置的Talbot圖案



 


 
不同位置的Talbot圖案



 
 
 
 

不同位置的Talbot圖案



 
 
 

沿 Z 軸的強度



 
 


關於我們
公司介绍
專家團隊
人才招聘
訊技風采
員工專區
服務項目
產品銷售
課程中心
專業書籍
項目開發
技術諮詢
聯繫方式
地址:新北市永和區中正路746號9樓之5
電話:+886-2-3233-2748    傳真:+886-2-3322-9865
課程:course@infotek.com.tw
業務:sales@infotek.com.tw
技術:support@infotek.com.tw
官方微信
掃一掃,關注訊技光電的微信訂閱號!
Copyright © 2014-2016 訊技科技股份有限公司, All Rights Reserved.