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JCMsuite應用：閃耀光柵

時間:2021-12-22 16:32來源:未知作者: infotek點擊:次列印

這是一維週期線光柵案例的一個變形。它的靈感來自閃耀光柵。在一維線柵的案例中，週期單元晶胞包含通過光柵的二維橫截面。這裡的橫截面包含兩個寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線條位於襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分佈。同時通過後處理傅立葉變換計算透射繞射級次的振幅。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度。

S偏振光照明的近場強度

P偏振光照明的近場強度:

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