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JCMsuite應用：一維週期線柵

時間:2023-04-13 13:57來源:未知作者: infotek點擊:次列印

這是一維週期線柵的簡單案例。週期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位於襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分佈。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度。

S偏振光照明的近場強度

P偏振光照明的近場強度

後處理傅立葉變換計算透射繞射級次的振幅。

參數掃描

Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產生了以下圖表，顯示了反射和透射繞射級次的強度:

在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時，線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產生以下線柵寬度依賴關係:

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