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JCMsuite應用：孤立線柵

時間:2023-04-07 15:18來源:未知作者: infotek點擊:次列印

這是一個一維孤立線光柵的簡單案例。設置與週期線光柵的案例相同，但代替週期性排列的線，現在使用單線。因此，二維計算域不再採用水準方向上的週期性邊界條件，而是採用水準和垂直方向上的透明邊界。

光柵被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分佈。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度

後處理傅立葉變換計算散射場在上半空間的傅立葉變換。

在實驗中，遠場通常由成像的光學裝置來收集。後處理光學成像允許描述一個通用光學成像系統。我們通過一個沒有像差的簡單2X放大工具來演示這一點。

輸出檔fourier_transform_image.jcm包含經過光學系統後的場的傅立葉變換。可以使用笛卡爾輸出後處理來計算同調圖像。下圖顯示了不同z方向切片的圖像(圖像平面沿z方向放置)，用於S偏振照明。

線光柵通過光學系統後的同調圖像(s偏振入射平面波)

線光柵通過光學系統後的同調圖像(p偏振入射平面波)

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