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JCMSuite應用：光場通過六方晶胞的近場分析

時間:2022-08-12 20:12來源:未知作者: infotek點擊:次列印

這是一個簡單的二維光柵的例子，具有雙重週期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和y平面上是週期性的。它包含兩個不同的菱形(平行六面體)，位於襯底上，被背景材料包圍。我們選擇了一個直角線單元晶胞(最小原始儲存格)來避免結構的計算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形)，玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分佈。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度

S偏振光照明的場向量

P偏振光照明的場向量

後處理傅立葉變換計算透射繞射級次的振幅。

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