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橢圓偏振分析器
時間:2023-05-03 15:46來源:未知作者: infotek點擊:次列印
摘要



       

        橢圓偏振儀是一種光學測量方法，通常用於確定薄膜的介電特性。測量涉及確定不同波長和入射角下從樣品反射或透射時光偏振態的變化。因此，它可用于表徵成分、粗糙度、厚度、結晶性能、導電性和其他材料特性。它對入射輻射與所研究材料相互作用的光學回應變化非常敏感。此案例演示了橢圓偏振儀的基本原理，並說明了 VirtualLab Fusion中內置橢圓偏振分析器的使用。




橢圓偏振儀的基本原理


       當線偏振光(分解為一個偏振平行(????p,i)和一個垂直於入射面(????s,i)的波)與電介質相互作用時，偏振態會發生變化。從入射波和反射(或透射)波之間的相移(????)，以及反射(或透射)振幅的比值(tan(????))，可以推導出介質的介電特性(????, ????)。





橢圓偏振儀的基本原理



注意：類似的考慮適用於透射情況，但為了簡單起見，只討論反射。



將橢偏分析器加入系統


 



分析輸出





級次選擇






輸出





角度定義


 
 


波長和入射角的掃描



 
 


實例系統


請參閱完整的案例：SiO2塗層的可變角度橢偏光譜(VAS)分析



分析器的示例輸出


 



分析器的示例輸出——穆勒矩陣





檔案資訊


 


延伸閱讀 

-SiO2塗層的可變角度橢偏光譜(VAS)分析

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