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用於光學檢測的斐索干涉儀

時間:2023-05-09 14:59來源:未知作者: infotek點擊:次列印

摘要

斐索干涉儀是工業上常見的光學計量設備，通常用於高精度測試光學表面的品質。在VirtualLab Fusion中通道配置的説明下，我們建立了一個Fizeau干涉儀，並將其用於測試不同的光學表面，例如圓柱形和球形表面。結果表明，表面輪廓對干涉條紋的產生是敏感的。

建模任務

測試表面

非序列追跡

通用探測器和探測器附加組件

總結-組件…

觀測下的傾斜平面

被觀測圓柱面

被觀測球面

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